レファレンス事例詳細
- 事例作成日
- 2004/04/13
- 登録日時
- 2004/04/22 02:10
- 更新日時
- 2004/04/22 02:10
- 管理番号
- 調査-00024
- 質問
-
解決
「超純水装置」の構造について調べている。工業用水、半導体関係で超純水装置について書かれた図書はあるか。
- 回答
-
『JIS工業用語大辞典 第4版』(日本規格協会)には「超純水製造装置」という項目になっており、これによると、この装置は、上水道水、井戸水、工業用水などを原水とし、その中の不純物をイオン交換樹脂、逆浸透膜、限外ろ過膜、紫外線酸化などを用いて精製し、高純度の純水を製造する装置です。また、本依頼の用途に使用される超純水は溶解物質としては10億分の1レベルの純度が要求されるとのことです。概要については、『水の百科事典』(丸善)に記載されています。これには代表的な超純水製造システムの図があります。また、『シリコンLSIと化学』(大日本図書)には超純水の製造法が載っています。なお、超純水の用途については、半導体のほか、原子力発電プラント用水、注射用水、バイオテクノロジー用水、光ファイバー製造用洗浄水など、最先端産業で使用されています。
- 回答プロセス
- 事前調査事項
- NDC
-
- 無機化学 (435)
- 参考資料
- キーワード
- 照会先
- 寄与者
- 備考
- 調査種別
- 文献紹介
- 内容種別
- 言葉
- 質問者区分
- 登録番号
- 1000004116