レファレンス事例詳細
- 事例作成日
- 2022/02/25
- 登録日時
- 2022/12/07 00:30
- 更新日時
- 2022/12/07 00:30
- 管理番号
- 牛久-1836
- 質問
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解決
半導体結晶と製法について書かれている本を見たい。
- 回答
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以下の資料を紹介。
・『よくわかる最新半導体デバイスの基本と仕組み』(佐藤淳一/秀和システム/2021.11)
…p21-36「第2章 シリコン単結晶の作り方と構造」の中の、p22-24「2-1 固体結晶への道」、p25-27「シリコンウェーハの作製法」、p28-29「2-3 シリコン単結晶の構造」、p30-32「2-4 シリコン単結晶の単位胞と結晶面」の各小見出しに参考になりそうな記述あり。
・『半導体物性(電子・情報工学講座 8)』(小長井誠/培風館/1992.10)
…p1-39「1. 物質の構造」中のp1-7「1.1 結晶系」、p7-15「1.2 空間格子」、p16-21「1.3 結晶構造」、p24-33「1.4 格子欠陥」の各小見出しに参考になりそうな記述あり。
・『ブリタニカ国際大百科事典 16 ノウシ-ピョ 第2版改訂』(フランク・B・ギブニー編集/ティビーエス・ブリタニカ/1991)
…p565-579に「半導体」の項目あり。その内p569、570に小見出し「半導体結晶の製法」、p570-579に小見出し「半導体デバイスの製法」あり。
・『化学便覧 応用化学編1 第5版』(日本化学会編/丸善/1995.3)
…pⅠ-205~Ⅰ-204に「4章 シリコンと化合物半導体」あり。その内pⅠ-228~Ⅰ-233「4.3.2 単結晶シリコン」に「a. 多結晶シリコン製造技術」「b. 単結晶成長技術」「c. ウェハー加工技術」「d. エピタキシャル技術」といった製造方法や装置の概略図あり。
- 回答プロセス
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1.フリーワード「半導体結晶」+資料状態「所蔵」で自館資料検索したが、ヒットなし。
2.一般件名「半導体」+資料状態「所蔵」で自館資料検索し、32件ヒット。ヒットした資料の書誌データの「内容紹介」を確認し、近年出版である下記の資料を実際に確認。
(1)『「半導体」のことが一冊でまるごとわかる』(井上伸雄、蔵本貴文/ベレ出版/2021.11)
…最新の出版年で記述がありそうだったが、貸出中で内容確認できず。
(2)『よくわかる最新半導体デバイスの基本と仕組み』(佐藤淳一/秀和システム/2021.11)
…p21-36「第2章 シリコン単結晶の作り方と構造」あり。p22-24「2-1 固体結晶への道」、p25-27「シリコンウェーハの作製法」、p28-29「2-3 シリコン単結晶の構造」、p30-32「2-4 シリコン単結晶の単位胞と結晶面」の各小見出しに参考になりそうな記述あり。なお、p3「はじめに」に「半導体およびデバイスの入門書となればという思いで書きました」「わかりやすさを優先し、物理的に厳密な事象は省略し解説してあります」との著者の言葉あり。
(3)『よくわかる最新半導体の基本と仕組み 第3版』(西久保靖彦/秀和システム/2021.7)
…p20-22「1-4 半導体材料シリコンとはどんなモノ?」に半導体用シリコンの結晶構造について、p23-26「1-5 不純物の種類によってP型半導体とN型半導体になる」にシリコン結晶(単結晶)の結晶構造について、p32-34「1-4 LSIを搭載する基盤-シリコンウエーハのつくり方」に多結晶シリコンと単結晶シリコンとその製造工程に関する記述がそれぞれあり。
(4)『トコトンやさしい半導体パッケージ実装と高密度実装の本』(高木清他/日刊工業新聞社/2020.5)…半導体結晶に関する記述は見つからず。
3.フリーワード「半導体」&「結晶」+資料状態「所蔵」で自館資料検索し、3件ヒット。ヒットした資料の書誌「内容紹介」を確認し、記述がありそうな下記の資料を実際に確認。
(5)『半導体物性(電子・情報工学講座 8)』(小長井誠/培風館/1992.10)
…p1-39「1. 物質の構造」中の、p1-7「1.1 結晶系」、p7-15「1.2 空間格子」、p16-21「1.3 結晶構造」、p24-33「1.4 格子欠陥」の各小見出しに参考になりそうな記述あり。なお、piii、iv「はじめに」に「本書は、半導体物性を初めて学ぶ学部・情報系学生を対象に書かれた」との著者の言葉あり。
→1~3の調査結果を説明した上で、その場で内容確認できた(2)(3)(4)(5)を実際に質問者に確認していただいた所、(2)(5)を借りたいとの希望だったため貸出する。
→もう少し記述が専門的な資料もあったら見たいとのことだったため、引き続き調査を続行。
4.R54-の棚をブラウジングし『半導体用語辞典 コンパクト版』(コンパクト版半導体用語辞典編集委員会編/日刊工業新聞社/2002.11)を発見。内容を確認したが、「半導体結晶」の記述はなし。
5.R031をブラウジングし、百科事典で「半導体」の項目を確認して半導体結晶に関する記述がないか調査。
→下記の資料に記述を発見。
(6)『ブリタニカ国際大百科事典 16 ノウシ-ピョ 第2版改訂』(フランク・B・ギブニー編集/ティビーエス・ブリタニカ/1991)…p565-579に「半導体」の項目あり。その内p569、570に小見出し「半導体結晶の製法」、p570-579に小見出し「半導体デバイスの製法」あり。
(7)『世界大百科事典 23 ハマ-ヒニ 改訂新版』(平凡社/2007.9)
…p277-279に「半導体」の項目あり。文中に「結晶」の単語が多く使われているが、まとまった記述という形ではなかった。
6.ここまでの調査から、化学の参考図書にも記述があるかもしれないと考え、R4--の棚をブラウジング。
→下記の資料に記述を発見。
(8)『化学便覧 応用化学編1 第5版』(日本化学会編/丸善/1995.3)
…pⅠ-205~Ⅰ-204に「4章 シリコンと化合物半導体」あり。その内pⅠ-228~Ⅰ-233「4.3.2 単結晶シリコン」に「a. 多結晶シリコン製造技術」「b. 単結晶成長技術」「c. ウェハー加工技術」「d. エピタキシャル技術」といった製造方法や装置の概略図あり。
→(6)(7)(8)を実際に質問者に確認していただき、(6)と(8)の一部をコピーして対応終了。
7.追加調査として、2でヒットした32件で実際の内容を確認していなかった28冊の内、書誌の「内容紹介」から記述がありそうな資料を実際に確認。
→下記の資料に参考になりそうな記述を発見。
(9)『「半導体」のキホン』(菊地正典/ソフトバンククリエイティブ/2011.2)…p14-21にシリコンの単結晶、多結晶に関する記述あり。また、p126-129に多結晶シリコンの製造と単結晶シリコン棒を成長させるCZ法について記述あり。なお、p3「はじめに」に「中学生にも十分理解できるように」書いたとの著者の言葉あり。
(10)『わかる半導体セミナー 改訂版』(伝田精一/CQ出版/2001.6)
…p21-30「第2章 結晶のはなし」に単結晶の見分け方、人工結晶の製造方法について記述あり。
→以下の資料には半導体結晶に関する明確な記述は見つからなかった。ただ、文中に「単結晶」「多結晶」「シリコンの結晶格子」「単結晶シリコン」といった単語が散見され、半導体の材料の1つであるシリコンについてはいずれの資料にも記述があった。
・『トコトンやさしい半導体の本』(谷腰欣司/日刊工業新聞社/2009.4)
・『最新半導体のすべて』(菊池正典/日本実業出版社/2006.8)
・『これが半導体の全貌だ!』(泉谷渉他/かんき出版/2004.4)
・『岩波講座現代工学の基礎 10 材料系7 半導体材料とデバイス』(松波弘之、尾江邦重/岩波書店/2001.7)
- 事前調査事項
- NDC
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- 電子工学 (549 10版)
- 化学 (430 10版)
- 参考資料
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- B10934135 よくわかる最新半導体デバイスの基本と仕組み 佐藤淳一/著 秀和システム 2021.11 549.8 978-4-7980-6481-9
- B10007717 半導体物性 小長井誠/著 培風館 1992.10 428.8 9784563033385
- B10353784 ブリタニカ国際大百科事典 16 フランク・B・ギブニー/編集 ティビーエス・ブリタニカ 1991 031 (第2版改訂版)
- B10031671 化学便覧 応用化学編1 日本化学会/編 丸善 1995.3 430.36 9784621040409 (第5版)
- キーワード
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- 半導体結晶
- 半導体
- 照会先
- 寄与者
- 備考
- 調査種別
- 文献紹介
- 内容種別
- 言葉
- 質問者区分
- 社会人
- 登録番号
- 1000325193